全固态电池使用固体的正负极和固体电解质，不含任何液体，所有材料都由固态材料组成。全固态电池安全性能高，因为无机固体电解质材料不可燃，无腐蚀，不存在漏液问题。能量密度高，有望达到400Wh/kg,甚至更高。工作温度范围宽，操作温度有望提高到300度以上。固态电池避免了液态电解质在充放电过程中持续形成和生长电解质介质膜的问题和锂枝晶穿透隔膜的问题，可以大大提升电池的循环寿命。此外，固态电池体积小薄，而且回收方便。固态电池是未来的发展方向。
固态电池中重要材料CaN的生长采用MOCVD（金属有机化学气相沉积），最新的技术发现如果采用CO2激光辅助MOCVD，可以提升极大的生产效率。
如下图所示，使用CO₂激光器9R30谱线进行进行辅助生长，能够比传统的MOCVD的生长速率提升8.6倍。
Increasing grain sizes leads to reduced grain boundary defects and stress, therefore improving the crystalline, electrical and optical quality of the GaN films. |
需要的CO₂激光器光栅可调型CO2激光器或者单谱线输出CO₂激光器，能够精准输出谱线9R30,需要的输出功率100W左右。